真空泵

进气真空过滤器

适用于实验平台、工艺腔体预抽和中低真空系统配套。

真空泵

进气真空过滤器

适用于实验平台、工艺腔体预抽和中低真空系统配套。

进气真空过滤器

滤盾系列

氮气泄露检测值为lx10-6 mbar/l/s

滤芯过滤能力可选,应对不同工况

壳体碳钢/不锈钢可选

超强的粉尘处理能力